مرآة كروية من السيليكون أحادي البلورة منخفضة الخسارة، مصنعة حسب الطلب ورخيصة الثمن في الصين، مورد، مصنع

مرآة كروية من السيليكون أحادي البلورة منخفضة الخسارة للغاية لأنظمة الأشعة فوق البنفسجية العالية الدقة

تم تصميمها لتحقيق خشونة سطحية أقل من 0.1 نانومتر ونقاء مادة بنسبة 99.9999%، مرآة كروية من السيليكون أحادي البلورة منخفضة الخسارة للغاية تُعيد تعريف الدقة البصرية للطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية القصوى (EUV)، والحوسبة الكمومية، وأنظمة الطيران. بفضل التصنيع المتكامل رأسيًا، بدءًا من نمو البلورات وصولًا إلى القياسات المعتمدة من المنظمة الدولية للمعايير (ISO)، نُقدم مرايا تحافظ على دقة سطح λ/10 حتى في ظل أحمال حرارية تبلغ 500 كلفن.

المنتج 1-1

المعاملات

معامل	المواصفات الخاصه
الابعاد	1) D = φ12.7-φ50.8 مم (التسامح ± 0.1)، H = 4-8 مم D:H> 4:1 (التسامح ± 0.5) 2) D50.8-φ100 مم (التسامح ± 0.1)، H = 10-25 مم D:H> 4:1 (التسامح ± 0.5)
حجم ركلة البداية	φ7.5-45mm
منطقة الطلاء	الحجم التقليدي D12.7، حجم منطقة الطلاء 7.5؛ D25 حجم منطقة الطلاء 10، يمكن تخصيص حجم منطقة الطلاء الأخرى
انحناء	SR: 500-8000 مم (قابلة للتخصيص)، دقة ±0.05%
دقة السطح	λ/2-λ/10 عند 632.8 نانومتر
الدقة الكروية	30 "-3 '
خشونة	منطقة اختبار Ra0.12nm (مقياس ملف تعريف Zygo) قياس التردد الكامل 173*173 ميكرومتر
تتبيلة	R ≥ 99.999%، فقدان 2-6 جزء في المليون، T: 3-5 جزء في المليون (632-1550 نانومتر)
الخامة	سيليكون كريستال واحد
شطب الحافة	0.2~0.5*45°
يمكن تخصيصها وفقًا لاحتياجات المستخدم.

لماذا تتفوق مرايانا على غيرها؟

إتقان السطح على المستوى الذري

نعومة أقل من أنجستروم: تحقيق خشونة ≤0.12 نانومتر را من خلال التشطيب المغناطيسي الريولوجي، والقضاء على تشتت الضوء في الطباعة فوق البنفسجية القصوى وتفتيش المجال المظلم - وهو أمر بالغ الأهمية لإنتاج رقاقة 3 نانومتر حيث أن حتى المخالفات على نطاق الذرة من شأنها أن تشوه الضوء 13.5 نانومتر، مما يضمن نمطًا خاليًا من العيوب واكتشاف العيوب.
صفر ضرر تحت السطح: يمنع التلميع الخالي من الإجهاد الكسور الناجمة عن الليزر، وهو أمر حيوي لمرايا المجمع EUV وأنظمة LDI، حيث يمكن أن يتسبب الضغط المادي في فشل كارثي تحت نبضات عالية الطاقة، مع الحفاظ على السلامة خلال 10⁸+ دورة في مصانع أشباه الموصلات.
التوحيد البلوري: انحراف الاتجاه <0.1 درجة عبر السطح بأكمله يضمن خصائص بصرية متسقة، وهو أمر أساسي لأدوات تشكيل شعاع التصوير الضوئي وتفتيشه - يمنع هذا التوحيد انخفاض الأداء الموضعي، وهو أمر بالغ الأهمية لتصنيع عقدة 3 نانومتر بشكل موثوق وتحليل العيوب بدقة عالية.

أداء مُحسَّن بالأشعة فوق البنفسجية

انعكاسية تزيد عن 95% عند طول موجي 13.5 نانومتر: تضمن أقصى استفادة من الفوتون في الطباعة فوق البنفسجية القصوى لإنتاج رقاقة 3 نانومتر، حيث يكون كل فوتون بطول 13.5 نانومتر بالغ الأهمية للنمذجة الدقيقة - تقلل هذه الانعكاسية العالية من فقدان الطاقة، مما يعزز الإنتاجية في مصانع أشباه الموصلات التي تعتمد على الاستخدام الفعال للضوء.
فقدان امتصاص أقل من 5 جزء في المليون حتى عند تدفق EUV 20 وات/سم²: يمنع التسخين المفرط وتدهور الأداء في أنظمة EUV عالية الطاقة، ويحافظ على الاستقرار في مرايا المجمع ومشكلات الشعاع تحت تدفق مكثف، وهو أمر بالغ الأهمية لتجنب التشوه الحراري الذي من شأنه أن يدمر أنماط دائرة العقدة 3 نانومتر.
استقرار التمدد الحراري بمعدل 0.05 جزء في المليون/ك: يضمن الاتساق الأبعادي عبر التقلبات في درجات الحرارة في أدوات EUV، مما يضمن دقة المحاذاة في أنظمة التصوير الضوئي والتفتيش - يمنع هذا الاستقرار سوء المحاذاة الذي قد يعرض دقة التصنيع 3 نانومتر للخطر، حتى مع اختلاف درجات الحرارة التشغيلية.

الموثوقية المهمة للمهمة

عمر افتراضي يصل إلى 10 سنوات في ظل التشغيل عالي الطاقة على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع: يضمن الموثوقية طويلة الأمد في أنظمة الطباعة فوق البنفسجية القصوى التي تعمل بشكل مستمر، مما يقلل من وقت التوقف عن العمل لعمليات الاستبدال في مصانع الرقائق 24 نانومتر - تتوافق هذه المتانة مع الانعكاسية العالية والامتصاص المنخفض، مما يحافظ على الأداء الثابت خلال سنوات من التعرض المكثف للفوتون 7 نانومتر.
مقاومة الصدمات/الاهتزازات متوافقة مع معيار MIL-O-13830A: تتحمل الضغط الميكانيكي أثناء النقل والتشغيل، وهو أمر بالغ الأهمية لأدوات EUV التي يتم نقلها بين المرافق أو المعرضة لاهتزازات المصنع، مما يمنع تحولات المحاذاة التي من شأنها تعطيل نمط 3 نانومتر، ويكمل الاستقرار الحراري لتحقيق المتانة الشاملة.
طلاءات AR مخصصة لقمع الانعكاسات الخلفية 632-1550 نانومتر: تعمل على إزالة التداخل من الأطوال الموجية الضالة في إعدادات الأنظمة المتعددة، مما يضمن بقاء ضوء EUV 13.5 نانومتر دون أي مساومة - تعمل هذه الدقة على تعزيز دقة الطباعة الضوئية، مع الاقتران بالامتصاص المنخفض لتحسين كفاءة تصنيع العقد 3 نانومتر.

مصممة بدقة لإنتاج شرائح 3 نانومتر

مرآة كروية من السيليكون أحادي البلورة منخفضة الخسارة للغاية تمكين تصنيع أشباه الموصلات من الجيل التالي من خلال:

1. إزالة تشوه النمط من خلال دقة واجهة الموجة λ/20

2. تقليل دورات استبدال المرايا بنسبة 40% من خلال الأسطح الخالية من العيوب

3. الحفاظ على تماسك الشعاع مع انجراف حراري أقل من 0.001% عند 500 كلفن

موثوق بها من قبل المبتكرين العالميين

"بعد التحول إلى المرايا الكروية الخاصة بنا، حققنا إنتاجية رقائق أعلى بنسبة 1.8% في خط إنتاج العقد 5 نانومتر الخاص بنا."- كبير المهندسين، أكبر 3 شركات تصنيع أشباه الموصلات الأصلية

التخصيص والامتثال

مرونة الحجم: من البصريات الدقيقة φ7.5 مم إلى ركائز 100 مم
خيارات الطلاء:
الأشعة فوق البنفسجية والأشعة تحت الحمراء ذات النطاق العريض (250-2000 نانومتر)
ليزر ذو خط عرض ضيق (±0.1 نانومتر)
مجموعات متعددة الطبقات مُحسّنة بتقنية EUV
الشهادات:
إنتاج حاصل على شهادة ISO 9001/14001
خالية من ITAR، متوافقة مع REACH/ROHS
جاهزية كاملة لتدقيق مورد ASML

المنتج 1-1

الأسئلة الشائعة

س: كيف يمكنك منع التشوه الحراري في تطبيقات الطاقة العالية؟

أ: تستفيد مرايانا من معامل التمدد الحراري المنخفض للغاية للسيليكون أحادي البلورة (0.05 جزء في المليون/كلفن) إلى جانب تصميمات التركيب الخالية من الإجهاد، مما يحد من انحراف الشكل إلى <1 نانومتر حتى عند 500 كلفن.

س: ما هي تدابير مراقبة الجودة التي تضمن الأسطح الخالية من العيوب؟

ج: كل مرآة كروية من السيليكون أحادي البلورة منخفضة الخسارة للغاية يخضع ل:

قياس تداخل الضوء الأبيض (دقة 0.1 نانومتر)
رسم خريطة العيوب بنسبة 100% من خلال المجهر الميداني المظلم
اختبار LIDT حتى 50 ميجاوات/سم²

س: هل يمكنك مطابقة مواصفات طلاء OEM الموجودة؟

ج: نعم. شاركنا متطلباتك لمنحنى الانعكاس، وسيقدم لك فريق الطلاء لدينا حلولاً مُحسّنة للحد من الخسائر خلال 72 ساعة.

اطلب محاكاة المرآة المجانية الخاصة بك

مستعدون لرفع مستوى أنظمتك البصرية مع مرآة كروية من السيليكون أحادي البلورة منخفضة الخسارة للغايةفريق الخبراء لدينا هنا لمساعدتك في العثور على الحل الأمثل لمشروعك.

البريد الإلكتروني: xachaona@163.com