مرآة كروية فائقة الانخفاض في فقدان فلوريد الكالسيوم: بصريات دقيقة لتطبيقات الجيل التالي
عندما يكون لكل فوتون أهمية، مرآة كروية فائقة الانخفاض في فقدان فلوريد الكالسيوم تقدم أداءً لا مثيل له في الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية القصوى (EUV)، والليزر فائق السرعة، والأنظمة البصرية الدقيقة. صُممت هذه المرايا باستخدام CaF₂ اصطناعي بنقاء 99.99%، مما يقلل من فقدان الضوء إلى أقل من 10 أجزاء في المليون، مع الحفاظ على سلامة هيكلها تحت الإشعاع عالي الطاقة. سواء كنت تُحسّن تصنيع الرقائق أو تُطوّر فيزياء الليزر، فإن مرايانا توفر دقة سطحية تصل إلى أقل من النانومتر واستقرارًا حراريًا (±5 جزء في المليار/كلفن) للتطبيقات بالغة الأهمية.
لماذا تتميز مرايانا؟
- امتصاص منخفض للغاية: تحقيق انعكاسية بنسبة 99.999% عند أطوال موجية تبلغ 13.5 نانومتر، مما يقلل من هدر الطاقة والتشويه الحراري، وهو أمر بالغ الأهمية لتصنيع أشباه الموصلات EUV حيث أن حتى الامتصاص البسيط من شأنه أن يعطل نمط الرقاقة، مما يضمن الاستخدام الفعال للفوتون في عمليات الطباعة الحجرية عالية الدقة.
- الاستقرار الحراري: الحفاظ على دقة الأبعاد بنسبة ±0.01% حتى عند 100 درجة مئوية، وهو مثالي لأدوات الطباعة الحجرية EUV عالية الطاقة، ومنع عدم المحاذاة في خطوط تصنيع أشباه الموصلات حيث يمكن أن تؤدي ارتفاعات درجة الحرارة إلى إضعاف الطباعة الدائرية النانوية، مما يضمن الأداء المتسق في العمليات كثيفة الحرارة.
- الدقة على نطاق النانو: خشونة السطح <0.12 نانومتر Ra (تم اختبارها عبر مقياس Zygo) تضمن الحد الأدنى من خسائر التشتت، وهو أمر حيوي لبصريات EUV وأنظمة الاتصالات الكمومية حيث تعمل الفوتونات المتناثرة على تدهور سلامة الإشارة، مما يتوافق مع الدقة المطلوبة للتطبيقات البصرية المتقدمة.
- تصميمات قابلة للتخصيص: اختر أقطارًا من φ12.7 مم إلى φ100 مم، مع نصف قطر انحناء (500-8000 مم) مصمم خصيصًا لإعدادك البصري، ويتناسب بسلاسة مع كل من الأدوات المعملية المدمجة ومعدات تصنيع أشباه الموصلات واسعة النطاق، والتكيف مع المتطلبات التقنية المتنوعة بدقة.
المعاملات
| معامل |
المواصفات الخاصه |
| الأبعاد |
D=φ12.7-φ50.8mm(tolerance±0.1),H=4-8mm D:H>4:1(tolerance±0.5)
2)D50.8-φ100mm(tolerance±0.1),H=10-25mm D:H>4:1(tolerance±0.5)
|
| منطقة الطلاء |
قابلة للتخصيص (قياسي: D12.7 مم، مساحة 7.5 مم؛ D25 مم، مساحة 10 مم) |
| دقة السطح |
λ/10 عند 632.8 نانومتر |
| خطأ موازي |
<10 " |
| انحناء |
SR=500-8000 (تخصيص)، دقة الانحناء ± 0.05% |
| خشونة |
منطقة اختبار Ra0.12nm (مقياس ملف تعريف Zygo) قياس التردد الكامل 173*173 ميكرومتر |
| انعكاسية |
≥99.999% (420 نانومتر - 3000 نانومتر) |
| خسارة |
2-6ppm |
| ناقل السرعة |
3-5ppm |
| المواد |
فلوريد الكالسيوم |
| يمكن تخصيصها وفقًا لاحتياجات المستخدم. |
ملحوظة: يمكن تخصيص المواصفات لتناسب احتياجاتك المحددة.

التطبيقات الرئيسية
- الطباعة فوق البنفسجية القصوى: تمكين إنتاج شرائح أقل من 7 نانومتر باستخدام مرايا تقاوم الانجراف الحراري والتلوث، والاستفادة من انعكاسية 99.999% عند 13.5 نانومتر وثبات أبعاد ±0.01% عند 100 درجة مئوية للحفاظ على مسارات فوتون دقيقة، وهو أمر بالغ الأهمية لنمذجة الدوائر الصغيرة دون تشويه من الحرارة أو الحطام.
- ليزر الفيمتوثانية: تقليل تشوه النبضات في تجاويف الليزر فائقة السرعة من خلال الدقة النانوية (خشونة السطح <0.12 نانومتر Ra)، مما يضمن احتفاظ النبضات بشكلها وطاقتها - وهذا يقلل من التشتت، وهو أمر حيوي لتطبيقات مثل التصنيع الدقيق والتحليل الطيفي حيث تحدد سلامة النبضة النتائج.
- أنظمة القياس: تُحسّن دقة القياس مع انعدام أي ضرر تحت السطح، مُدمجةً بتصاميم قابلة للتخصيص (بأقطار φ12.7 مم - φ100 مم) تُناسب إعدادات المعايرة بسلاسة. تُزيل الأسطح فائقة النعومة التشتت، مما يضمن عدم انحراف القراءات بسبب عيوب المواد، وهو أمر بالغ الأهمية لتحليل الأبعاد عالي الدقة.
صُممت من أجل الموثوقية
كل ما مرآة كروية فائقة الانخفاض في فقدان فلوريد الكالسيوم يخضع ل:
- اختبار التداخل والطيف بنسبة 100%: التحقق من صحة تسطح سطح كل مكون وأدائه الطيفي، وضمان انعكاسية بنسبة 99.999% عند 13.5 نانومتر وخشونة <0.12 نانومتر Ra - وهو أمر بالغ الأهمية لمرايا الطباعة الحجرية EUV وتجويفات الليزر الفيمتوثانية حيث يمكن حتى للانحرافات البسيطة أن تؤثر على الدقة.
- محاكاة الإجهاد البيئي (الدورة الحرارية والرطوبة): تعريض المكونات لتقلبات تتراوح من -50 درجة مئوية إلى 300 درجة مئوية ورطوبة بنسبة 95% لمحاكاة الظروف الواقعية، مما يضمن الاستقرار في أدوات EUV وأنظمة القياس التي تعمل في بيئات صناعية أو معملية متنوعة دون تدهور الأداء.
- التحقق من قبل جهة خارجية للامتثال لمعايير SEMI وISO 9001: تؤكد عمليات التدقيق المستقلة الالتزام بمعايير صناعة أشباه الموصلات (SEMI) وأنظمة إدارة الجودة (ISO 9001)، مما يوفر ضمانًا للعملاء في قطاع السيارات والفضاء بأن المكونات تلبي متطلبات الموثوقية والتناسق الصارمة للتطبيقات عالية المخاطر.
موثوق به من قبل قادة الصناعة
نحن نقوم بتوريد المرايا إلى شركات تصنيع المعدات الأصلية المعتمدة من ASML ومختبرات الأبحاث الرائدة، ونقدم:
- إنتاج قابل للتطوير: القدرة السنوية على إنتاج أكثر من 10,000 وحدة.
- دعم هندسي على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع: التصميم المشترك للطلاءات أو الهندسة الخاصة بالتطبيق.
- ضمان مدى الحياة: أداء مضمون بدون أي تقشير أو ازدواجية انكسار.

لديك أسئلة؟
س: ما هي شفافية الأشعة فوق البنفسجية التي يمكنني توقعها عند 13.5 نانومتر؟
ج: تحقق مرايانا نفاذية تصل إلى >99% عند 13.5 نانومتر مع طلاءات متعددة الطبقات من الموليبدينوم والسيليكون.
س: كيف يمكنك ضمان خشونة السطح <0.5 نانومتر؟
أ: نحن نستخدم التشطيب المغناطيسي الريولوجي (MRF) وقياسات التردد الكامل التي تم التحقق منها بواسطة Zygo.
س: هل المرايا الخاصة بك متوافقة مع معايير ITAR؟
ج: نعم - نحن نقدم خيارات خالية من ITAR وخيارات خاضعة لرقابة EAR للشحنات العالمية.
س: هل يمكنك تصنيع المرايا التي يزيد حجمها عن φ100 مم؟
ج: تتوفر أقطار مخصصة تصل إلى φ500 مم مع دقة انحناء ±0.05%.
هل أنت مستعد لتحسين نظامك البصري؟
البريد الإلكتروني xachaona@163.com للحصول على عرض أسعار أو استشارة فنية حول مرآة كروية فائقة الانخفاض في فقدان فلوريد الكالسيومدعونا نعمل على هندسة الحل الدقيق الخاص بك اليوم.